当社の“スーパークリーンパイプ”は、日本製鉄(株)で半導体製造用部材として溶解された高清浄度鋼を使用し、優れた内面平滑度を誇る製品です。
また、“スーパークリーンパイプ”は最新鋭の設備のもとで製造されており、品質は“ISO9001”で管理された高精度の製品です。
Product | 外径 | 肉厚 | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
(in.) | JIS A SIZE |
(mm) | (in.) | JIS A SIZE |
(mm) | |
Sumiclean M Sumiclean C |
1/8 | − | 3.18 | 0.028 | − | 0.72 |
1/4 | − | 6.35 | 0.035 (0.039) |
− | 0.89 1.00 |
|
3/8 | − | 9.53 | 0.035 (0.039) |
− | 0.89 1.00 |
|
1/2 | − | 12.7 | (0.039) 0.049 |
− | 1.00 1.24 |
|
Sumiclean C | 5/8 | − | 15.88 | 0.039 (0.049) |
− | 1.00 1.24 |
3/4 | − | 19.05 | 0.049 0.065 |
− | 1.24 1.65 |
|
1 | − | 25.4 | 0.065 | − | 1.65 | |
− | 15A | 21.7 | − | Sch 5S | 1.65 | |
− | 20A | 27.2 | − | Sch 5S | 1.65 | |
− | 25A | 34 | − | Sch 5S | 1.65 | |
− | 32A | 42.7 | − | Sch 5S | 1.65 | |
− | 40A | 48.6 | − | Sch 5S | 1.65 | |
− | 50A | 60.5 | − | Sch 5S | 1.65 | |
Sumiwel | − | 65A | 76.3 | − | Sch 5S | 2.1 |
− | 80A | 89.1 | − | Sch 5S | 2.1 | |
− | 100A | 114.3 | − | Sch 5S | 2.1 | |
− | 125A | 139.8 | − | Sch 5S | 2.8 | |
− | 150A | 165.2 | − | Sch 5S | 2..8 | |
− | 200A | 216.3 | − | Sch 5S | 2.8 | |
− | 250A | 267.4 | − | Sch 5S | 3.4 | |
− | 300A | 318.5 | − | Sch 5S | 4 |
当社のスーパークリーンパイプの用途事例を紹介します。
半導体・液晶装置製造用(BAS管、EPS管)
半導体・液晶装置製造用(MPS管)
BAS:光輝炉熱処理+精密洗浄
EPS:電解研磨仕上げ+精密洗浄
MPS:機械研磨仕上げ+精密洗浄